掃描電鏡的成像其實(shí)是利用細(xì)聚焦高能電子束在樣件表面激發(fā)各種物理信號(hào)，如二次電子、背散射電子等，通過相應(yīng)的檢測(cè)器來檢測(cè)這些信號(hào)，信號(hào)的強(qiáng)度與樣品表面形貌有一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，因此，可將其轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)來調(diào)制顯像管的亮度得到樣品表面形貌的圖像。下面我們來介紹下掃描電鏡日常維護(hù)的10個(gè)要點(diǎn)。

    掃描電鏡的日常維護(hù)

    1、保持儀器操作臺(tái)面整潔，不允許身體倚靠，凍水機(jī)等裝置不可放置重物；

    2、開機(jī)時(shí)一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機(jī)至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水；

    3、進(jìn)樣品時(shí),檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關(guān)閉樣品室,確保進(jìn)樣倉門徹底關(guān)閉,才可點(diǎn)擊EVAC按鈕抽氣；

    4、移動(dòng)樣品，通過配合移動(dòng)StageDriver將載物臺(tái)向X軸和Y軸方向移動(dòng)，從而移動(dòng)樣品，并保證小于最大允許值；

    5、傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺(tái)和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的最大安全角度必須小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴；

    6、用BSE探頭時(shí)不可傾斜樣品臺(tái)；

    7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時(shí)要關(guān)閉高壓；

    8、放氣時(shí)HT必須處于關(guān)閉狀態(tài)，必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門；

    9、更換鎢燈絲時(shí)，等待兩分鐘時(shí)間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷；

    10、掃描電鏡需要手動(dòng)調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調(diào)整；

    11、每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。

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